תנור חישול בהיר ואקום

תנור חישול ואקום בהיר משתמש במבנה של תנור צינורות עבור סינטר אטמוספירה, טיפול הפחתה, ניסויי CVD וחישול ואקום.

חוט התנגדות משמש כגוף החימום יחד עם הפעלת-הסטת פאזה ובקרת תיריסטורים.

צינור התנור עשוי מקוורץ-בטוהר גבוה. אוגני נירוסטה אוטמים את שני קצוות הצינור, בעוד שתומכי נירוסטה מחזיקים את צינור התנור במקומו.

תצורה זו יוצרת חלל עיבוד עצמאי יחסית שניתן לחבר לציוד ואקום או לקווי גז לעיבוד משני קצותיו.

המבנה מסוג -שפופרת מתאים במיוחד לדוגמאות ארוכות, חומרים המסודרים ברציפות לאורך צינור התנור, ותהליכים שבהם יש צורך ליצור חיבורי גז או ואקום בשני קצוות הצינור.

טמפרטורת ההפעלה היא 1100 מעלות.

גדלי צינורות תנור זמינים משתרעים מ-φ60 × 2200 מ"מ עד φ400 × 2200 מ"מ.

עבור צינורות φ60, φ80 ו-φ100 מ"מ, ההספק הרשום הוא 20 קילוואט. צינור φ120 מ"מ משתמש ב-26 קילוואט, בעוד שתצורות φ200, φ300 ו-φ400 מ"מ משתמשות ב-35 קילוואט, 60 קילוואט ו-90 קילוואט בהתאמה.

מתח מדורג הוא 380 וולט.

קצב החימום הוא 1-10 מעלות/דקה, ורמת הוואקום היא 6.67 × 10⁻⁴ פא.

מכיוון שקוטר הצינור משנה את אזור הטעינה הזמין ואת עוצמת החימום הנדרשת באופן משמעותי, בחירת תנור חישול בהיר ואקום צריכה להתבסס על קוטר ואורך המדגם יחד עם סביבת התהליך הנדרשת.

תא התנור משתמש בסיבי אלומינה פוליקריסטליים כחומר הבידוד.

מעטפת-שכבת כפולה עם מערכת קירור{{1} באוויר תומכת בחימום וקירור מהירים יחסית תוך כדי שליטה על טמפרטורת פני הציוד.

הציוד יכול לשמש עבור סינטר אטמוספירה-בטמפרטורה גבוהה, הפחתת אטמוספירה, ניסויי CVD וחישול ואקום באוניברסיטאות, מכוני מחקר ומפעלים תעשייתיים.

עבור תהליכי CVD או הפחתה, הקונים צריכים גם לאשר את סוג הגז, מספר קווי הגז, דרישת הזרימה ושיטת חיבור הפליטה.

עבור חישול ואקום, קוטר הצינור, חיבור האוגן, אורך הדגימה ורמת הוואקום היעד הם נקודות המפרט העיקריות.